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真空式万博体育manbetx处理系统
Vacuum plasma processing system

专为半导体IC/封装领域表面清洗与改性设计,可用于处理各种电子材料, 包括塑料、金属、玻璃等


半导体IC领域的表面清洗与改性
印刷线路板行业的表面清洗、去钻污、活化
硅胶、塑胶、聚合体领域的表面粗化、刻蚀、活化
汽车电子行业的表面改性与清洁
航空工业领域的表面清洗
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全自动On-Line式AP万博体育manbetx处理系统
Fully automatic On-Line AP plasma processing system

AP宽幅万博体育manbetx清洗机,适用于FPC&PCB表面处理,复合型材料、玻璃、ITO、面板等行业领域的表面处理。


处理温度可≤35℃以下
灵活On-Line安装方式
电子和离子的能量可达10eV以上
材料批处理的效率可高于低气压辉光放电装置效率10倍以上
<span class=喷射型AP万博体育manbetx处理系统
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喷射型AP万博体育manbetx处理系统
Jet type AP plasma processing system

专为安装于产线上处理而设计,适用于触摸屏、玻璃、金属、塑胶、纺织品、再生或复合材料的高效清洗、活化和涂层。


消费类电子的表面处理和改性
LCD面板表面清洗和改性
FPC&PCB表面清洗和活化
国防工业的航空航天电连接器表面清洗
通用行业的丝网印刷、转移印刷前处理

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推荐产品

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消费类电子行业

大部分产品的表面均存在有机或无机的污染物,由此在后工序加工时会影响产品的品质,特别是对于需要粘接、印刷、贴合等工序时。此时需要万博体育manbetx进行表面清洁处理。

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新能源行业

如:1、玻璃基板去除表面污染物,使工件表面亲水性大大提高;2、ITO阳极表面改性,改善器件的光伏性能;3、通过采用万博体育manbetx体技术,可活化硅片表面,大大提高其表面附着力。

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汽车制造业

随着经济的发展,消费者对汽车的性能要求越来越高,如汽车的外观、操作舒适性可靠性、使用耐久性等要求也不断提高。为了满足消费者的要求,各汽车厂家在生产汽车时更注重细节方面的优化改进

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半导体芯片行业

对芯片与封装基板的表面进行万博体育manbetx体处理能有效增加其表面活性,极大的改善粘接环氧树脂在其表面的流动性,提高芯片和封装基板的粘结浸润性,减少芯片与基板的分层,改善热传导能力,提高IC封装的可靠性稳定性,增加产品的寿命。

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医疗行业

如:介入治疗用的心脏冠状动脉支架,经万博体育manbetx体清洗之后还要用万博体育manbetx体涂敷上抗血凝和抗表皮增生材料。

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重工业领域

如:1、锂电池隔膜行业通过万博体育manbetx处理改善了材料表面特性,大大提高了电池性能;2、航空航天连接器通过万博体育manbetx处理改善了材料表面特性,大大提高了电池性能;增强其表面活性,使得粘接效果明显改善。

重工业

应用于电池隔膜处理,提高吸碱率及亲水性。电池隔膜均为高分子材料,极性弱。分子难以透过,使用万博体育manbetx处理后,改善了材料表面特性,大大提高了电池性能。 
2020-06-10 52

医疗行业

导尿管给需要留置导尿的患者带来了福音,在临床上的应用越来越广,但随着其应用的增多,导尿管拔除困难的情况也越来越常见。特别是长期留置的导尿管,有时由于橡胶的老化会造成气囊管腔的阻塞,强行拔除时可能会引起严重的并发症。为了防止硅橡胶与人体接触表面的老化,需要对其表面进行氧万博体育manbetx处理。用扫描电子显微镜(SEM)、红外光谱(FTIR-ATR)和表面接触角研究天然胶乳导尿管经氧万博体育manbetx体处理前后的表面结构、性能和化学成分的变化,结果表明用低温万博体育manbetx设备公司氧万博体育manbetx体处理后的导尿管表面变滑,表面接触角由84度减少至67度,表面无有害基团产生,说明氧万博体育manbetx体处理是一种有效的万博体育manbetx表面处理方法。 另外,可用大型万博体育manbetx清洗机或者小型的处理硅橡胶以增加其表面活性,然后在表面涂度一层不易老化的疏水材料,其效果也非常好。    2.静脉输液器 输液器末端输液针在使用过程中,拔出时针座与针管之间会出现脱离现象,一旦脱离,血液会随针管流出,如不及时正确处理,对病人会造成严重威胁。为了确保这类事故的发生,对针座进行表面处理是非常必要的。针座孔非常小,普通方法难处理,而万博体育manbetx体是一种离子状态的气体,对微小的孔也可以有效处理。应用大型万博体育manbetx清洗机万博体育manbetx对其进行表面活化处理,可改善表面活性,提高其与针管的粘接强度,确保它们之间不会脱离。下图为针座在万博体育manbetx清洗机中进行万博体育manbetx表面清洗活化处理。 3.生物培养板 诚峰智造低温万博体育manbetx设备公司清洗设备可用于改善培养板表面亲水性,接枝特定化学基团,并进行表面杀菌。  
2020-06-10 0

半导体芯片行业

芯片或者硅片与封装基板的粘接,往往是两种不同性质的材料,材料表面通常呈现为疏水性和隋性特征,其表面粘接性能较差,粘接过程中界面容易产 生空隙,给密封封装后的芯片或硅片带来很大的隐患,硅片清洗机工业万博体育manbetx清洗机可以对芯片与封装基板的表面进行万博体育manbetx体处理能有效增加其表面活性,万博体育manbetx处理机极大的改善粘接环氧树脂在其表面的流动性,提高芯片和封装基板的粘结浸润性,减少芯片与基板的分层,改善热传导能力,提高IC封装的可靠性稳定性,增加产品的寿命。 引线框架的表面处理 微电子封装领域采用引线框架的塑封形式,仍占到80%,其主要采用导热性、导电性、加工性能良好的铜合金材料作为引线框架铜的氧化物与其它一些有机污染物会造成密封模塑与铜引线框架的分层,造成封装后密封性能变差与慢性渗气现象,同时也会影响芯片的粘接和引线键合质量 ,确保引线框架的洁净是保证封装可靠性与良率的关键,经等工业离子处理机清洗后引线框架表面净化和活化的效果成品良率比传统的湿法清洗会极大的提高,并且免除了废水排放,降低化学药水采购成本。 优化引线键合(打线) 集成电路引线键台的质量对微电子器件的可靠陛有决定性影响,键合区必须无污染物并具有良好的键合特性。污染物的存在,如氯化物、有机残渣等都会严重削弱引线键台的拉力值。传统的工业清洗机湿法清洗对键合区的污染物去除不彻底或者不能去除,而采用万博体育manbetx体厂家设备清洗能有效去除键合区的表面沾污并使其表面活化,能明显提高引线的键合拉力,极大的提高封装器件的可靠性。
2020-06-10 0

汽车制造业

随着经济的发展,消费者对汽车的性能要求越来越高,如汽车的外观、操作舒适性可靠性、使用耐久性等要求也不断提高。为了满足消费者的要求,各汽车厂家在生产汽车时更注重细节方面的优化改进,如进行 (1)仪表板在柔性聚氨酯(PU)涂覆前处理 (2)控制面板在粘台前处理 (3)内部PP零件植缛前处理 (4)汽车门窗密封件的处理 以前未经任何处理仪表盘或控制面板涂覆效果非常差,不耐磨,容易掉漆等现象,用化学方法处理虽然能改变涂覆的效果,但同时也改变了仪表盘等基材的性能,使得其强度有所降低。目前很多厂家已经使用万博体育manbetx汽车清洗机plasma万博体育manbetx技术来处理这些基材,通过plasma万博体育manbetx体轰击,材料表面微观层面活性增强,能明显改善涂覆效果。根据实验得知,用万博体育manbetx清洗机处理不同材料需要选用不同工艺参数,才能达到更好的活化效果。   2、发动机油封片 发动机曲轴油封起防止发动机机油从发动机中渗漏和防止异物进入发动机内部的作用。曲轴油封是发动机的零件之一,在高温下与机油相接触,因此需要采用耐热性和耐油性优良的材料。目前轿车普遍使用聚四氟乙烯材料,随着汽车性能要求的不断提高,越来越多的厂家使用该材料,万博体育manbetx汽车清洗机其应用前景非常广泛。聚四氟乙烯材料各方面性能优异,耐高温,耐腐蚀、不粘、自润滑、优良的介电性能、很低的摩擦系数,但未经处理的PTFE材料表面活性差,其一端与金属之间的粘接非常困难,产品无法满足金属表面处理质量要求。为了解决这一技术上的难题,就要设法改变PTFE(聚四氟乙烯)与金属表面粘接的表面性能,而不能影响另一面的性能。工业中用溶液处理虽然能在一定程度上提高粘接效果,但是却改变了原有PTFE的性能。经实验证明,用plasma清洗机万博体育manbetx体轰击需粘接的PTFE表面后,其表面活性明显增强,与金属之间的粘接牢固可靠,满足了工艺的要求,而另一面保持原有的性能,其应用也越来越被广泛认同。   3、点火线圈 随着汽车行业的发展,其各方面性能要求越来越高。点火线圈有提升动力,很明显的效果是提升行驶时的中低速扭距,消除积碳,更好的保护发动机,延长发动机的寿命,减少或消除发动机的共振,燃油充分燃烧,减少排放等诸多功能。要使点火线圈充分发挥它的作用,其质量、可靠度、使用寿命等要求必须达到标准,但是目前的点火线圈生产工艺尚存在很大的问题点火线圈骨架外浇注环氧树脂后,由于骨架在出模具前表面含大量的挥发性油污,导致骨架与环氧树脂结合面粘台不牢靠,成品使用中,点火瞬间温度升高,会在结合面的缝隙中产生气泡,损坏点火线圈,严重的还会发生爆炸现象。 点火线圈骨架使用plasma清洗机万博体育manbetx处理后,不仅可去除表面的难挥发性油污,而且可大大提高骨架表面活性,即能提高骨架与环氧树脂的粘合强度,避免产生气泡,同时可提高绕线后漆包线与骨架触点的焊接强度。这样一来点火线圈在生产过程中各方面性能得到明显改善,提高了可靠度和使用寿命。
2020-06-10 0

新能源行业

使用万博体育manbetx体技术,对材料表面进行轰击,可有效去除表面污染物,使工件表面亲水性大大提高。清洗后的水滴夹角小于5度,为下道工序的进行奠定良好基础。
2020-06-10 0

消费类电子行业

1、plasma万博体育manbetx清洗机可用于清洗Wafer,去除表面光刻胶。具有高度的均匀性,稳定的刻蚀速率。  2、手机的种类繁多,外观更是多彩多样,其颜色鲜艳,Logo醒目,但使用手机的人都知道,手机在使用一段时间后,其外壳容易掉漆,甚至Logo也变得模糊不清,严重影响手机的外观形象。知名手机品牌厂家为了寻找解决这些问题的方法,曾使用化学药剂对手机塑料外壳进行处理,其印刷粘接的效果有所改善,但这是降低手机外壳的硬度为代价,为了寻求更好的解决方案,万博体育manbetx技术脱颖而出。万博体育manbetx表面处理技术不仅可以清洗外壳在注塑时留下的油污,万博体育manbetx处理机能活化塑料外壳表面,增强其印刷、涂覆等粘接效果,使得外壳上涂层与基体之间非常牢固地连接,涂覆效果非常 均匀,外观更加亮丽,并且耐磨性大大增强,长时间使用也不会出现磨漆现象。     3、运用万博体育manbetx进行摄像头玻璃丶CCD元器件的表面清晰,能有效去除白点丶红点等污染物.并且在镜座镜框上进行了应用,活化镜框材料,大大提高点胶后的附着力,运用万博体育manbetx表面处理机厂家设备对手机壳进行活化处理,用于烤漆前的表面活化及消除静电,可以提高烤漆良率.还应用于烤漆后手机壳的LOGO印刷前处理,提高印刷质量.   
2020-07-28 0
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万博体育manbetx

深圳市诚峰智造有限公司是一家集研发;制造;销售为一体的高新技术企业。公司设立万博体育manbetx事业部(主营万博体育manbetx清洗机、CRF plasma万博体育manbetx设备、万博体育manbetx表面处理机);五金冲压部;钣金部;精密五金模具部;涂装部。产品广泛应用于通信;汽车;家电;纺织;航天航空;生物工程;精密制造等行业。公司秉承诚信;拼搏;创新的精神理念,立足中国,面向全球。

新闻中心

2020
11-21

模具万博体育manbetx清洗机

万博体育manbetx清洗机是一种新型的清洗机,它利用万博体育manbetx弧能清除模具表面的污垢,达到清洁模具的目的。        使用过程中,由于橡胶、配合剂和硫化脱模剂的综合作用,使模具受到了污染,需要定期对结垢模具进行清洗。化学清洗方法易腐蚀模具表面并造成环境污染,机械清洗方法为接触清洗,易损伤模具表面并产生残余应力。新型的清洗技术干冰清洗和激光清洗虽然克服了传统清洗方法的不足,但其本身也存在缺陷。通过万博体育manbetx清洗机处理,克服了传统清洗方法和其他清洗方法相比的缺点。        随着万博体育manbetx体输出功率的增加,模具试样表面温度升高,随着万博体育manbetx体运动速度的加快而降低,随着基体厚度的增加而略微降低。        当清洗力度大于粘结力或单位面积上的清洗力大于单位面积上的粘接力时,吸附在基体表面的污染物颗粒会克服粘结力的束缚而发生脱落,为防止万博体育manbetx体弧烧伤基体表面,在保证清洗力大于污染物与基体表面之间的粘结力的同时,界面温度应低于基体熔点温度。        目前,由于万博体育manbetx清洗机工艺的出现,它已经在光学、电子、材料、生命科学、高分子科学、生物医学等许多领域得到了广泛的应用。
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2020
11-19

新型相变存储器的介绍及万博体育manbetx清洗机蚀刻的应用

相变存储器的发展已经比较成熟,其原理是某些相变材料的结晶相(低电阻)和无定型相(高电阻)之间明显的电阻差异。SET和RESET操作分别对应相变材料的低阻状态和高阻状态,这意味着相变存储器在“0”“1”之间的切换不需要进行闪存存储器的擦写操作。          这两种状态可以利用电流的焦耳热效应对相变材料进行加热,从而迅速切换和循环。逻辑后段工艺的高温决定了相变材料的初始状态多为结晶相(低阻)。转换为无定型相需要让很大的电流脉冲在极短时间内通过下电极接触(Bottom Electrode Contact,BEC)以融化部分相变材料并进行退火。这部分经过熔态退火转换为无定型相的区域即程控区域(programmable region)。          该区城与结晶相区域相变材料串联,有效提高了顶电极和下电极接触之间的阻抗。再转化为结晶相则需要让中等的电流脉冲通过下电极接触加热程控区城,温度介于结晶化临界温度和融化临界温度之间并维持较长时间。程控区域的状态可以通过量测存储单元的阻抗来读取。这种读取要求通过存储单元的电流足够小以避免影响器件当前状态。相变材料的性质直接决定了相变存储器的性能,目前多采用硫属化物(chalcogenide),如被广泛研究的 Ge2Sb2Te5(GST)。其结晶时间可少于100ns。          万博体育manbetx清洗机蚀刻在相变存储器存储单元图形化中比较重要的应用有:下电极接触孔万博体育manbetx清洗机蚀刻和相变材料(GST)万博体育manbetx清洗机蚀刻。
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2020
11-18

宽幅线性万博体育manbetx清洗机万博体育manbetx体处理麻织物染色

亚麻、苎麻等麻类织物具有很好的透气、清凉、舒适等性能,深受广大消费者喜爱。但是,由于麻类织物结晶度、取向度高,使染料不易渗入和扩散,染色性能较差,不易染成深色,在一定程度上限制了亚麻在高档面料中的应用。过去对亚麻织物染色性能的提高主要是通过阳离子化学改性、化学接枝法、稀土法、涂料法、添加增深剂等方法,这些方法对亚麻织物染色性能的提高有一定的作用。但是这些却存在着成本高、耗水量大、能耗大、污染环境、破坏纤维自身性能等缺点。   宽幅线性万博体育manbetx清洗机万博体育manbetx体表面处理: 用宽幅线性万博体育manbetx清洗机氧万博体育manbetx处理麻类织物,可以使织物表面蚀刻、失重、粗糙度增加,纤维表面产生微孔和裂纹,增加了纤维的表面积,吸水性能增强,织物的毛细管效应增强,润湿性提高。由于用氧万博体育manbetx处理麻织物时,纤维表面渗入氧原子,产生自由基,引起空气中的氧自由基反应,引入了这一类亲水性基团如羟基、羰基、过氧基等,从而改善织物的亲水性。而处理功率越大,引发的高速微粒数越多,能量也越大,对纤维表面的轰击刻蚀作用越加重,麻纤维表面的结晶度降低,从而提高了织物的润湿性,有利于织物的染色浓度的提高。   提高纤维表面的刻蚀粗糙度和润湿性,可提高纤维的着色率和着色深度。上染率的提高与织物润湿性的提有直接相关的影响,润湿性越好,越有利于染料向纤维内的渗透扩散,从而提高上染百分率。宽幅线性万博体育manbetx清洗机万博体育manbetx体中的高能粒子对苎麻纤维表面的轰击和蚀刻增大,导致纤维表面的重复反射和吸收,增加了纤维对入射光的总吸收,产生表观的深色效应。宽幅线性万博体育manbetx清洗机万博体育manbetx体处理有利于提高麻织物直接染料染色的耐洗性和耐磨性,可替代固色剂Y进行固色处理,减少化学试剂的消耗。   对于经树脂或软化剂整理的麻织物,经宽幅线性万博体育manbetx清洗机万博体育manbetx体处理后,纤维表面被刻蚀,可使纤维与整理剂进一步发生反应,在纤维表面形成一层较牢固的粗糙层,大大降低了纤维表面对光的反射率,提高了织物的深染性。
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2020
11-21

万博体育manbetx清洗机相变存储器的GST蚀刻工艺

GST是目前广泛使用的一种相变材料,其万博体育manbetx清洗机蚀刻工艺为相变存储器所独有。   1.万博体育manbetx清洗机GST蚀刻气体筛选   GST作为相变存储器的核心材料,其体积直接影响器件电学性能,因此GST薄膜的完整性(integrity)极为重要。拿Cl、F、Br3种不同的卤素气体作为万博体育manbetx清洗机主蚀刻剂对GST蚀刻剖面的影响,以含溴气体为主蚀刻剂表现出比含氧气体或含氟气体对GST形貌更少的损害。 Ar、He作为稀释气体(dilute gas)对GST形貌影响较少,但在4根线为一组的图形中,使用He时边缘和中央图形的负载较小;使用Ar则负载较为显著,这一差异可能起源自Ar和He显著的质量区别。   2.硬掩膜(氮化钛)剖面形状控制   氮化钛一般被用作GST蚀刻的硬掩膜,其剖面形状会直接影响下层GST的轮廓。万博体育manbetx清洗机氯气(Cl)多用于氮化钛蚀刻,在氯气中添加BCl3和He对氮化钛剖面形状的影响中可以看出加入He虽然可以带来更高的对光阻选择比,其氮化钛的蚀刻部面比添加BCl3明显更倾斜。   3.后蚀刻处理   一般来说,在万博体育manbetx清洗机等离于体干法蚀刻完成后,会引入一步酸性或碱性的湿法清洗以彻底去除万博体育manbetx体蚀刻在晶圆上形成的副产物从而避免二次反应。GST是一种金属合金,任意一种酸或碱都会造成严重腐蚀,因此GST万博体育manbetx体蚀刻只能使用浓度较低的酸(或碱)性湿法清洗剂, 对GST蚀刻生成的含金属元素的副产物的清洗效果较差。因此,一种万博体育manbetx清洗机后蚀刻处理(Post Etch Treatment)技术被引入:在完成GST蚀刻并去除光阻后,加入一步时间较短的以含氟气体为蚀刻剂(CF4、SF6、NF3等)的蚀刻配方,利用含氟气体可活化GST蚀刻副产物的特性,可明显改善湿法清洗的效果。
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2020
11-20

万博体育manbetx清洗机工艺在PBGA的应用

微电子封装技术的粘接工艺,其关键前提是需要表面粗糙度小和接触角小。特别是复杂的封装结构,如塑封焊球列阵(PBGA)封装和叠层封装结构。由于其安装固定效率高、热电特性好等特点,PBGA封装及扩展技术被广泛应用。          万博体育manbetx清洗机在PBGA应用工艺中,一个主要问题是界面剥离,如芯片/塑封料与基板阻焊层/塑封料之间的界面。PBGA封装结构比传统的周边引线框架封装,例如塑料四边扁平封装(PQFP)更加复杂。为避免剥离,其多层界面要求有较高的界面粘着强度。          通常剥离首先发生在芯片边缘,在短时间内,在应力作用下,会向内部扩展。当两个表面之间的附着力消失后,晶片焊接点直接受到芯片与有机基板之间的热不匹配应力的支配,电失效是在剥落后焊料疲劳产生裂纹引起的。          使用万博体育manbetx清洗机工艺清洗,使用氩气、氧万博体育manbetx体气体,更为广泛使用的是含氩氧的CF4气体,清洗效果更佳。对基板万博体育manbetx体进行万博体育manbetx清洗,可以在PBGA中的粘片和模塑工艺之前,提高抗剥离能力。万博体育manbetx体清洗后,压焊可靠性大大提高。
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2020
11-18

万博体育manbetx表面处理机万博体育manbetx清洗机3DNAND中的蚀刻工艺

相比平面NAND闪存工艺,3DNAND由于器件结构发生巨大变化,相应的万博体育manbetx表面处理机万博体育manbetx清洗机蚀刻工艺也与以往大不相同。主要的新增特色工艺都是围绕3D结构制备,包括①台阶蚀刻;②沟道通孔蚀刻;③切口蚀刻;④接触孔蚀刻。   1.万博体育manbetx表面处理机万博体育manbetx清洗机台阶蚀刻   台阶蚀刻的目的是为了后续工艺单独连接每一层控制栅层。由于控制栅层处于堆叠状态,需要在水平方向上做不同程度的延伸,而后续工艺制备的接触孔结构分别将不同的控制栅层连接出去,接通后段互连电路而进行分别控制。   万博体育manbetx表面处理机万博体育manbetx清洗机台阶蚀刻的目标材料为SiO2和 Si3N4的堆叠结构,每个台阶蚀刻停止在下层 SiO2表面。台阶延展结构则由掩膜层(一般为光阻)缩减丁艺形成,缩减尺寸通过SiO2/Si3N4蚀刻过程传递到目标材料商。该蚀刻工艺为循环蚀刻工艺。   通常使用万博体育manbetx清洗机感应耦合万博体育manbetx蚀刻(ICP)机型完成此工艺。其主要控制要求为光阻缩减工艺过程中的每个循环缩减尺寸的一致性,边缘粗糙度控制,整片晶圆上缩减尺寸的均一度,以及 SiO2/Si3N4蚀刻过程对光阻的选择性。台阶宽度的准确性决定了后续接触孔是否能正确连接到指定的控制栅层。   由于要求每个台阶宽度(即每层控制栅层延展尺寸)为数百纳米级别以便后续接触孔能安全准确落在所需要的控制栅层上,循环工艺中每次光阻掩膜层缩减工艺都需要单边缩减数百纳米。一般使用蚀刻气体以O2为主以达到足够高的缩减速率。   循环蚀刻过程中单次蚀刻SiO2与Si3N4并停止在下层SiO2表面,由于选择比的需要,— 般分解为SiO2蚀刻(相对低选择比)步骤和Si3N4蚀刻,后者需要对 SiO2有较高的选择比以便停止在下层SiO2表面。通常SiO2蚀刻采用CF4/CHF3等碳氟比例相对较低的蚀刻气体,而Si3N4蚀刻则采用CH2F2等碳氟比例较高的蚀刻气体。且后者偏压相对较低以提供对SiO2足够的选择比。   业界主流的一对 SiO2/Si3N4层的总厚度不超过15nm,远小于数百纳米的台阶宽度。SiO2/Si3N4蚀刻对于侧墙角度要求相对较为宽松,无须接近垂直。这有利于蚀刻工艺调整以有限满足对于 SiO2以及光阻的选择比要求。   2.万博体育manbetx表面处理机万博体育manbetx清洗机沟道通孔蚀刻   沟道通孔结构制备由掩膜层蚀刻与沟道通孔蚀刻两道工艺组成。   (1)沟道通孔硬掩膜蚀刻   随着容量的提升,控制栅层数由开始的24层逐步提升到48层,更多层数的器件仍在开发过程中。而沟道通孔蚀刻需要一次性蚀刻穿所有的SiO2/Si3O4薄膜对。相对标准逻辑工艺的小于200nm的接触孔深度(45nm工艺节点),3D NAND中沟道通孔深度在400nm以上(早期24层3D NAND结构)。如果要实现128层控制栅层,则沟道通孔则超过lμm。所以沟道通孔蚀刻普遍采用硬掩膜工艺蚀刻。   通常使用万博体育manbetx表面处理机万博体育manbetx清洗机感应耦合万博体育manbetx蚀刻(ICP)机型完成此工艺。根据3D NAND结构差异(主要为控制栅层数的差别),硬掩膜材料主要为无定形碳。蚀刻气体采用O2为主或者N2/H2组合气体为主。   掩膜蚀刻的控制需求主要包括:   ①图形传递准确度。避免蚀刻过程中产生图形变形导致沟道通孔图形的不准确。 ②硬掩膜侧墙需要连贯并且尽量垂直。后续数10对 SiO2/Si3N4薄膜对的蚀刻都以硬掩膜为阻挡层进行蚀刻,硬掩膜侧墙中的缺陷会在后续蚀刻过程中传递到 SiO2/Si3N4薄膜对中。 ③关键尺寸均一度。   (2)万博体育manbetx表面处理机万博体育manbetx清洗机沟道通孔蚀刻 数十对SiO2/Si3N4薄膜对的沟道通孔蚀刻由于其超高的深宽比对蚀刻产生巨大的挑战。 作为参照的标准逻辑工艺中接触孔深宽比一般为4~7,而3D NAND的接触孔深宽比普遍在10以上,且随着控制栅层数上升而上升。相应地,万博体育manbetx表面处理机蚀刻机生产厂商开发了高深宽比蚀刻(HAR Etch)机型以满足3D NAND的工艺需求。   通常使用万博体育manbetx表面处理机万博体育manbetx清洗机电容耦合万博体育manbetx体蚀刻(CCP)机型完成此工艺。   高深宽比对蚀刻工艺主要带来3方面挑战,包括由于万博体育manbetx体在通孔底部分布不均而造成通孔底部侧墙变形;对硬掩膜层高选择比导致蚀刻保护层分布不均引起通孔上部侧墙变形;以及在蚀刻过程中,随着通孔深度越来越深,万博体育manbetx体难以到达通孔底部引起蚀刻停止。   在蚀刻工艺使用多步骤重复进行“蚀刻一排气”的循环工艺使得蚀刻保护层分布更加均匀, 同时提升偏置功率至通常逻辑工艺使用范围的5~10倍,以提高万博体育manbetx体到达通孔底部的能力,同时扩展工艺窗口使用更低压力与更高气体流量以排除通孔底部蚀刻生成物,从而解决上述问题。   蚀刻气体选取为经典的CCP腔体中SiO2蚀刻工艺,以不同碳氟比例(如CH2F2、C4F6、C4F8)的混合气体实现侧墙角度,选择比等考量。   沟道通孔蚀刻的控制需求主要包括:   ①硬掩膜层选择性; ②通孔侧墙连贯性; ③通孔侧墙的角度。   3.万博体育manbetx表面处理机万博体育manbetx清洗机切口蚀刻   沟道通孔蚀刻与切口蚀刻的目标材料一样,区别在于前者为孔洞而后者为沟槽。具体实施过程中由于图形差异使得蚀刻-保护平衡具有差异。同时也导致蚀刻机腔体工作环境的差异。由于沟道通孔蚀刻和切口蚀刻对工艺精度要求极高,为避免两种工艺引起蚀刻腔体工作环境不稳定,主流生产厂商一般使用单独蚀刻机分别完成相应的工艺。   切口蚀刻的控制需求与沟道通孔蚀刻类似。   4.万博体育manbetx表面处理机万博体育manbetx清洗机接触孔蚀刻   3D NAND的接触孔蚀刻同样属于高深宽比蚀刻工艺。与沟道通孔工艺的不同点在接触孔蚀刻材料为单一的SiO2,但由于停止在高低不同的各个控制栅层上,每个接触孔的深度都不相同。不同深度的接触孔蚀刻过程中对于蚀刻停止县的过蚀刻量差异巨大。除了沟道通孔工出中高深宽比引起的3个主要挑战外,接触孔蚀刻需要提供更高的蚀刻停止层的选择比。   通常使用万博体育manbetx表面处理机万博体育manbetx清洗机电容耦合万博体育manbetx体蚀刻(CCP)机型完成此工艺。   类似沟道通孔蚀刻对工艺的要求,接触孔蚀刻同样需要相对逻辑蚀刻工艺更强的偏置功率,通常需要提升三倍或更高。同时使用更低频率的偏置功率,提供更长的离子自由程,以提升万博体育manbetx表面处理机万博体育manbetx清洗机蚀刻万博体育manbetx体到达接触孔底部的能力,从而避免接触孔底部侧墙变形,同时降低蚀刻停止的可能性。   同时,市场上先进机型提供更多变的脉冲万博体育manbetx产生方法,包括单独的高频、低频以及直流脉冲,或者高低频同步脉冲。
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